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真空压力烤箱(正负压)设 备 规 格 表
项 次
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类 目
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规 格 说 明
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1
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适用范围
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半导体固晶点胶后除泡高温固化专用机型。
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电力
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设备总功率
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9KVA
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电 源
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AC380V 3φ 50HZ
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内尺寸
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有效利用尺寸
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直径600×D600mm*2
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外尺寸
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W1280mm×D1800mm×1840mm(参考尺寸)
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设备结构
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1.采用双箱圆型内胆结构设计,电控箱位于机台右方。
2.采用覆套式电热器对炉内循环的微高压气体进行循环加热,再通过炉体外强制加压和自动循环泄压完成换气功能和排出废气,以维持炉内气压相对高于外压;待炉内气体温度达到设定值后加热器自动停止加热,当炉内温度低于设定值时加热器自动启动,以维持炉内的温度稳定! 3.立式,风机位于箱体背部,水平送风。 6.2套加热控制,加热器及热风循环系统位于箱体背部。 7.循环风机功率750W 1台。 |
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用料材质及标准
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1.内部采用SUS304#5.0mm不锈钢板制作附凹形铁补强。
2.外部采用SUS41#冷轧钢板制作.防静电粉体烤漆,皱纹米黄色
3.采用高级保温棉,保温层厚度90 mm,加隔热板.
4.采用耐高温矽胶迫紧,耐温≥260℃.
5.采用强力旋转式门扣,可调节美式后扭.
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加压系统
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1.正压结构设计,炉内可承受8公斤正压。 2.安装压力调节阀,泄压阀,数显压力表及配备气体压力保护,高压报警预约开停机功能。
3..安全门保护,门没关紧无法加压,炉内压力不到常压无法开门,手动泄压和自动泄压组合。
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负压系统
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真空范围:-0.090~0.1Mpa。
抽气速率:8L/S.
真空度≤50Torr
渗漏率≤100pa/h。
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温度参数
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温度范围
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常温~200℃
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常用150℃升温时间
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约30min
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超温控制
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XZ-480超温保护器
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传感器感温精度
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±0.3℃
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150度均匀度
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±3℃
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降温时间
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150℃→60℃ <30分钟(空载)
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降温速率
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常用150℃时小于等于室温+10℃,烤箱门四边及排气口处除外。
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温度控制系统
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a. 采用7寸触摸屏操作,TFT液晶显示,1024*600分辨率,传感器万能输入,100ms采样周期,进口PID模块,0.1%控制精度。 b.无纸记录功能,记录120天数据,可直接导出温度曲线。
c.R232通讯,远程监控功能。
d.数字设定、截止温度、、恒温计时报警、超温警报等功能.每箱一组超温警报。
e.9999计时器,讯号来源:采用进口CA感应棒±0.5%.输出被控制元件:SSR无接点讯号输出.
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循环风系统
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特殊风路设计,加热温度均匀.
采用热风烤箱专用之长轴马达.
采用强力型不锈钢风轮.
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氮气系统
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进气口:加附N2流量计控制进气量.入气口:12mm. 进气口:Air Ø1/2”或N2 Ø1/2”;自动进排气口:Ø3/4”.
氮气浓度:99.99%。
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安全压力保护
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1. 安装压力调节阀,泄压阀,数显压力表 及这是定时预约开停机功能。
2. 配备预约排气功能。
3. 配备气体压力保护,高低压报警。
4. 安全门保护,门没关紧无法加压,炉内压力不到常压无法开门。
5. 手动泄压和自动泄压组合。
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电气安全保护
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1.马达过电流保护、相序保护器,漏电保护器,控制线路保险丝、无熔丝开关,接触器配件皆采用符合国家标准之一级产品.
2.具有上限温度过热报警功能,温度时间保持功能。
3.可设定恒温结束断开加热后马达继续送风。
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附合标准
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中华人民共和国电热设备实验方法GB/T10066-2004,JB20033-2004及电热装置的安全GB5959.1-2005,GB150 -1998钢制压力容器
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内部装置
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不锈钢嗜片加热器
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外部装置
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1.进风口、出风口、美式后钮、旋转式强力门扣,安装四个搬运轮.
2,排气口位于箱体顶部,孔开口大小可调整。 |
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配备
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1. 随机附3m长之电源线
2. 配备挥发物处理装置,减少挥发物附作,降低清洁维护强度。
3. 配备循环水冷降温装置。
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保固
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交机后一年免费换修故障零件之售后服务。
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主要配件
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部分料件明细
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